yy.vip易游-中电科风华申请晶圆缺陷双面同步检测光学模组及装置专利实现对待测样品上表面和下表面的同步检测

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　　国家知识产权局信息显示，中电科风华信息装备股份有限公司申请一项名为“一种晶圆缺陷双面同步检测光学模组及装置”的专利，公开号CN121703131A，申请日期为2025年12月。

　　专利摘要显示，本申请提供一种晶圆缺陷双面同步检测光学模组及装置，涉及半导体材料表面缺陷无损检测技术领域。本申请提供的晶圆缺陷双面同步检测光学模组及装置能够根据三代化合物半导体材料特性以及常见缺陷的分类统计进行检测光路设计，集成多种光学响应机制，实现对待测样品上表面和下表面的同步检测。

　　天眼查资料显示，中电科风华信息装备股份有限公司，成立于1998年，位于太原市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本9736.4032万人民币。通过天眼查大数据分析，中电科风华信息装备股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目302次，财产线条，此外企业还拥有行政许可13个。

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